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本发明涉及光学制造技术领域，公开一种用于制备光栅尺的夹具及其联控方法，以提高光栅尺的制备精度。本发明夹具设置有用于在光刻时将光栅尺基带当前的目标光刻区域同步压紧并拉直于工作台面的联动机构；所述联动机构设有三组气缸及两组负压真空管路，且还用于在电机牵引以切换到下一目标光刻区域的过程中，释放部分压紧作用力并继续保持所述光栅尺基带处在所述夹具工作台面上的拉直状态；确保了光栅尺刻写过程中的高平整度并全程有效避免了光栅尺起拱等情况，从而有效避免了对刻线的精度所造成的干扰。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114952023A
(43)申请公布日2022.08.30
(21)申请号202210730299.0
(22)申请日2022.06.24
(71)申请人长沙麓邦光电科技有限公司
地址4
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