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2024-01-31 发布于四川
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本发明涉及晶圆夹持领域，具体是涉及一种晶圆定位夹紧组件，包括工作台和转动设置在工作台上的气电滑环；气电滑环上设置有转动筒，转动筒内部设置有导气柱，转动筒外壁设置有连接环，导气柱顶部设置有导气盘；定位环同轴设置在连接环外部，定位环顶部径向滑动设置有多个滑动块，每个滑动块上设置有条形缺槽，每个条形缺槽内滑动设置有定位板，定位板上设置有多个牛眼轮；每个滑动块上设置有能沿竖直方向往返移动的安装块，安装块上设置有三角形环槽；每个安装块上还设置有能够随沿着三角形环槽滑动的水平夹板。本申请通过水平夹板和定位板

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117476528A

(43)申请公布日2024.01.30

(21)申请号202311506266.9

(22)申请日2023.11.13

(71)申请人山东汉旗科技有限公司

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