原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种易清洁光热转换材料及其制备方法和应用，所述易清洁光热转换材料包括特定份数的主体树脂、吸光填料、支撑填料、分散剂和溶剂；在待减薄晶圆和玻璃载体粘结之前，将所述易清洁光热转换材料涂覆在玻璃载体与待减薄晶圆的待粘结面上，再搭配常规胶黏剂粘结待减薄晶圆进行减薄和解键合，在减薄和解键合过程结束后，可轻松将减薄后的晶圆与玻璃载体进行分离，且常规胶黏剂全部残留在减薄后的晶圆上，而分离后的玻璃载体表面仅残留部分未烧蚀主体树脂和填料，进而可以通过普通溶剂浸泡和二流体吹扫进行去除，效率较高且不会损伤玻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117487415A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311457255.6H01L21/683(2006.01)
(22)申请日2023.11
文档评论（0）