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提供加工装置的控制方法,容易地进行针对检查条件的参数的选定作业。该加工装置具有:卡盘工作台,其对被加工物进行保持;加工单元,其在卡盘工作台所保持的被加工物上形成加工槽;拍摄单元,其对待加工的区域进行检测;以及触摸面板,其显示拍摄单元所拍摄到的图像,并且能够输入检查条件的多个参数,其中,在形成加工槽的中途,中断加工单元的加工动作而利用拍摄单元对加工槽进行拍摄,获取拍摄图像,根据拍摄图像对加工槽的状态进行检查,在对多个参数进行调整而实施最优化时,操作者向显示于触摸面板的输入栏输入所选择的参数,与所选
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110223936A
(43)申请公布日
2019.09.10
(21)申请号20191
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