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本发明公开了一种基于欧拉弯曲宽波导的硅基阵列波导光栅。包括沿波导传输方向依次连接的输入波导、第一自由传输区、第一过渡区域、第一绝热锥形波导、阵列波导区域、第二绝热锥形波导、第二过渡区域、第二自由传输区和输出波导组成，阵列波导区域主要由三个多模宽波导区和两个欧拉弯曲宽波导区依次交替连接组成，且阵列波导区域的弯曲部分由欧拉弯曲宽波导区组成，且阵列波导区域的两端均通过多模宽波导区分别连接到输入区和输出区；在第一过渡区域和第二过渡区域均采用双层刻蚀和绝热锥形波导的设计，阵列波导区域则利用多模宽波导以及欧
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115144964A
(43)申请公布日2022.10.04
(21)申请号202210863263.X
(22)申请日2022.07.20
(71)申请人浙江大学
地址310058浙江
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