一种硅片Q-time动态管控装置.pdfVIP

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本实用新型公开了一种硅片Q‑time动态管控装置,用于硅片产线之间的暂存,包括用于对前道工序产出的硅片进行暂存的暂存区,在暂存区的入口和出口处均设置有花篮计数器,通过花篮计数器对上料和下料的数量进行计数,在暂存区处设置转运AGV,转运AGV和花篮计数器均与数据终端处理PC电连接,数据终端处理PC通过花篮计数器的计数结果进行暂存量的判断,控制转运AGV将超Q‑time的硅片运送至返工区;本实用新型采用花篮计数器对暂存量进行实时统计,当暂存量超上限时自动报警,转运AGV对超Q‑time片自动清理,保

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220439639U

(45)授权公告日2024.02.02

(21)申请号202321407052.1

(22)申请日2023.06.05

(73)专利权人云南润阳世纪光伏科技有限公司

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