一种利用激光对半导体退火的设备.pdfVIP

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2024-02-03 发布于四川
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一种利用激光对半导体退火的设备.pdf

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本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种利用激光对半导体退火的设备，包括机架、激光光源、晶圆载台、驱动部和光线整形部件；机架上设有动力部和移动平台，动力部用于驱使移动平台沿机架直线运动；移动平台上设有反射镜；晶圆载台上设有收拢机构，收拢机构包括环形套、电磁铁和多根固定在晶圆载台侧壁上的支杆，电磁铁位于环形套的下方；多根支杆沿晶圆载台的周向均匀分布；晶圆载台上设有一端与环形套连接的弹性件；支杆上转动连接有伸缩杆，伸缩杆的下端铰接在环形套上。在本方案中收拢机构的设置能保证晶圆最终都位于晶圆载台的中心

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117497470A

(43)申请公布日2024.02.02

(21)申请号202311252351.7

(22)申请日2023.09.26

(71)申请人温州大学

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