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本发明涉及半导体芯片制造技术领域，目的是提供一种晶圆对准装置及其对准方法，对准精确度高，操作方法简便。上述晶圆对准装置包括基座(1)以及设置于所述基座(1)上的上晶圆运动系统、下晶圆运动系统、位置记录系统、视觉检测系统以及控制系统，所述视觉检测系统设置于所述上晶圆运动系统和所述下晶圆运动系统的两侧，所述上晶圆运动系统设置有精动对准调节装置，所述上晶圆运动系统或所述下晶圆运动系统设置有平行度检测元件；在所述控制系统的控制下，通过所述视觉检测系统、所述上晶圆运动系统和所述下晶圆运动系统的配合使所述上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN112053985A
(43)申请公布日2020.12.08
(21)申请号202010955620.6
(22)申请日2020.09.11
(66)本国优先权数据
2020106
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