一种用于晶圆视觉检测的多相位检测结构及控制方法.pdfVIP

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2024-02-03 发布于四川
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一种用于晶圆视觉检测的多相位检测结构及控制方法.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆视觉检测的多相位检测结构及控制方法，本发明是针对视觉分析的基本原理进行优化，具体表现为：以工业相机的广域视角可以同时采集多块芯片上的图片信息，其目的是通过“增加”采集数量而缩短检测周期，而对采集过程进行进一步优化：以晶圆本体上相对于工业相机中广域视角的中心点位置，带动晶圆本体进行360°全视角小角度旋转，其目的是：避免工业相机的采集过程中受到光线折射影响而造成成像模糊，直接影响到后续的检测数据，具体表现为：单块芯片上的图片信息可以进行多角度旋转，从而单块芯片上的图片信息中

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117491383A

(43)申请公布日2024.02.02

(21)申请号202311571336.9

(22)申请日2023.11.23

(71)申请人苏州梅曼智能科技有限公司

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