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本发明公开了一种基于机器学习的半导体电阻值预测方法及系统，方法包括数据采集、数据预处理、特征数据增强、阻值预测、半导体电阻值预测。本发明涉及电阻值预测技术领域，具体是指一种基于机器学习的半导体电阻值预测方法及系统，本发明采用四分位距识别方法进行异常值剔除，优化了阻值预测训练数据的质量；采用热图相关矩阵、变化滤波器和递归特征消除的方法进行特征数据增强，优化了特征选择；采用结合长短期记忆的循环神经网络方法进行阻值预测，通过长短期记忆神经网络的单元状态特性实现算法记忆，并参考前一时序数据进行数据整体预
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117493982A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202410006708.1
(22)申请日2024.01.03
(71)申请人江苏上达半导体有
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