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本发明涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种检测柱面曲率半径的装置及方法。检测柱面曲率半径的装置包括测量头，所述测量头用于检测待测柱面镜的曲率半径；所述测量头包括光源、十字分划板、分光镜、准直透镜、中继透镜和CCD相机；所述中继透镜为中继柱面镜。该装置的中继镜头采用柱面镜，则自准直仪的十字刻线经被测元件及柱面的中继透镜等在CCD相机上成清晰的十字像；可以更精确地调节待检元件的倾斜，实现柱面元件曲率半径的高精度检测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117490607A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311620962.2
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人北方集成电路技术创新中心（北京）
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