原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及真空镀膜系统加热技术领域，公开一种用于卷对卷式真空镀膜系统的多点式加热结构，包括加热模块，包括加热板，所述加热板的一侧开设有若干凹槽，所述凹槽内设置有点加热单元；温度控制模块，由若干温控单元构成，若干所述温控单元分别与若干所述点加热单元一一对应设置、且与所述点加热单元电性连接，以使得若干所述温控单元分别控制与监测对应设置的所述点加热单元的加热区域内的温度。本发明可改善温度分布，解决加热管沿长度方向温度不均匀的问题；此外，可以实现对微区温度的精细控制，可以根据镀膜需求在不同位置设定不同的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117488265A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311502417.3
(22)申请日2023.11.13
(71)申请人甚磁科技（上海）有限公司
地址
文档评论（0）