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本发明提供能够基于拍摄基片得到的视频来输出关于基片的静电消除状态的信息的静电消除状态显示方法、基片处理装置和程序。静电消除状态显方法在基片处理装置中执行，基片处理装置包括：处理容器；载置基片的载置台；通过静电吸附来保持基片的静电吸盘；和用于使基片升降的升降销，静电消除状态显示方法执行以下步骤：拍摄视频的步骤，视频包含从基片借助于静电吸附而被保持在载置台的第一状态起，至对基片的静电吸附被解除且静电消除处理之后利用升降销使基片上升了的第二状态为止的过程；从视频中提取对象波形的步骤，该对象波形表示伴随
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117500130A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202310912807.1
(22)申请日2023.07.24
(30)优先权数据
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