1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

晶圆搬送装置.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.74万字
  • 约 24页
  • 2024-02-03 发布于四川
  • 举报

晶圆搬送装置.pdf

    本发明的课题是提高晶圆相对于研磨台的搬送精度。本发明的解决方案是晶圆搬送装置具有：第一滑件，其通过第一致动器在第一方向被驱动；以及第二滑件，其通过第二致动器在与所述第一方向交叉的第二方向被驱动。所述晶圆搬送装置具有搬送手，所述搬送手安装于所述第二滑件，并握持被搬送至研磨台的晶圆。所述晶圆搬送装置具备控制系统，所述控制系统通过控制所述第一致动器，而使所述搬送手在所述第一方向以目标距离移动，将所述晶圆搬送至所述研磨台。所述晶圆搬送装置具有测量机器，所述测量机器与所述控制系统能通信地连接，测量被搬送至

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117484384A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202310939167.3

    (22)申请日2023.07.28

    (30)优先权数据

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >