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本实用新型公开了一种晶圆传输装置，包括：背板；翻转底板，可转动地连接于所述背板，设有用于夹持晶圆的晶圆固定座；翻转底板具有第一工作状态和第二工作状态；在第一工作状态时，翻转底板与背板呈夹角，所述晶圆固定座夹持晶圆；在第二工作状态时，翻转底板相对背板转动至晶圆处于竖直状态。本实用新型晶圆传输装置可以夹持晶圆进行翻转和移动，实现机械手的功能，结构简单，传输效率高；晶圆传输装置的活动行程相对较小，传输更灵活，传输速度更快；晶圆可由晶圆传输装置直接送入清洗输入模块，全程都在湿润的环境下运动，有效防止晶圆
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220439576U
(45)授权公告日2024.02.02
(21)申请号202321668724.4
(22)申请日2023.06.28
(66)本国优先权数据
202221672157.5
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