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本发明属于激光加工应用技术领域，公开了一种激光复合切割分离透明脆性材料的方法及装置，该方法是采用超短脉冲激光和连续激光两者同时作为贝塞尔激光光源，将两者同光轴合束得到贝塞尔合成激光束对透明脆性材料进行激光扫描，同时基于该贝塞尔合成激光束中超短脉冲激光部分对透明脆性材料的烧蚀改性机理、以及连续激光部分的热应力切割分离机理，实现激光复合切割分离透明脆性材料。本发明通过对切割方法的切割原理、加工工艺流程的整体设计，以及对应装置的各构成组件及它们的连接关系等进行改进，可一次高速完成切割分离透明脆性材料，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110303257A
(43)申请公布日
2019.10.08
(21)申请号20191
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