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本发明公开了一种微半球谐振子核心振动参数性能测试系统，微半球谐振子(1)固定在旋转平台(2)上；激励电控装置(6)用于固定激励探针(3)和控制激励探针(3)的移动；多普勒激光测振仪(4)位于真空室(5)外，发出的激光束通过真空室观察窗(7)照射至微半球谐振子(1)唇缘区域法线位置。使用激励电控装置(6)将激励探针(3)移动抵触至微半球谐振子球面，使之产生一定形变后控制激励探针(3)离开微半球谐振子球面，多普勒激光测振仪(4)检测微半球谐振子(1)的振动并采集实时信号，通过USB示波器测量微半球谐
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117490720A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311301758.4
(22)申请日2023.10.09
(71)申请人北京自动化控制设备研究所
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