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用于承载晶圆的回转升降复合气浮台.pdfVIP

用于承载晶圆的回转升降复合气浮台.pdf

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    本申请涉及一种用于承载晶圆的回转升降复合气浮台。用于承载晶圆的回转升降复合气浮台包括底座、气浮转动模块及升降驱动模块，气浮转动模块包括转台、旋转气浮轴承组件及旋转驱动件，转台可转动地安装于旋转气浮轴承组件，旋转气浮轴承组件可升降地安装于底座，旋转气浮轴承组件用于形成悬浮所述转台的气膜，旋转驱动件的输出端与转台连接，旋转驱动件用于驱动转台旋转；升降驱动模块设置于底座，其输出端与旋转气浮轴承组件相连接，用于驱动旋转气浮轴承组件升降。通过上述设置，较为方便地实现了转台同时实现高精度回转及升降运动，提高

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117497479A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202410002003.2

    (22)申请日2024.01.02

    (71)申请人迈为技术（珠海）有限公司

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