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本发明涉及面形检测技术领域，具体提供一种光学平面面形绝对检测方法，基于四平面法对参考镜、辅助透射镜和待检镜的四个平面进行依次干涉，获得一组欠定方程组，利用方程式的加减消元，剔除光学不均匀性的影响；对辅助透射镜进行旋转，利用Moore‑Penrose广义逆矩阵，在柱坐标系下得到辅助透射镜的绝对面形数据，进而在重力解耦的情况下得到各个面的面形误差；利用波长调制干涉仪得到辅助透射镜与待检镜的干涉结果，计算得到TF镜重力形变，进而获得待检镜在无重力耦合条件下的绝对面形。本发明基于现有的四平面法绝对检测技
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117490604A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202410004055.3
(22)申请日2024.01.03
(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物
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