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2024-02-03 发布于四川
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本发明提供一种能够根据检查内容容易地改变检查单元的数量，并且能够大幅缩短检查单元的维护所花费的时间的检查系统。检查系统具有检查基片的多个检查单元。上述多个检查单元各自构成为单元，并包括：进行上述基片的检查的测试器；保持上述基片并使该基片相对于上述测试器相对移动的移动部；以及收纳上述测试器和上述移动部的机架构造体。一个检查单元的上述机架构造体包括：第一机架，其能够与其他检查单元的上述机架构造体连结；和第二机架，其至少收纳上述移动部，能够相对于上述第一机架相对移动而将上述移动部从该第一机架抽出。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117497438A

(43)申请公布日2024.02.02

(21)申请号202310901278.5

(22)申请日2023.07.21

(30)优先权数据

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