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本发明涉及一种喷头组件以及基板处理装置，更详细地，涉及一种具备可以加热基板并在较高温工艺中自由地进行孔加工的陶瓷加热器的喷头组件以及基板处理装置。喷头组件具备：加热器本体，加热基板，并形成朝向基板供应至少一个的工艺气体的多个供应孔，并且由陶瓷制造；以及流路板单元，设置于加热器本体的上方，并形成与多个供应孔连通的供应流路，并且由陶瓷制造，流路板单元具备形成与多个供应孔连通的供应流路的n个流路板。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117497449A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202310948338.9
(22)申请日2023.07.31
(30)优先权数据
10-2022-0095859
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