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一种芯片生产设备电磁干扰检测系统.pdfVIP

一种芯片生产设备电磁干扰检测系统.pdf

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    本发明公开了一种芯片生产设备电磁干扰检测系统，涉及电磁干扰检测技术领域，包括服务器、抗磁监管单元、细化管理单元、反馈分析单元、划分分析单元以及预警管理单元；本发明通过采集目标芯片生产设备的环境数据，并进行监管预警评估分析，以判断目标芯片生产设备是否存在电磁干扰，以便及时的做出预警操作，且通过信息反馈的方式对风险数据进行深入式影响评估分析，进而根据电磁干扰等级进行合理、有针对性的维护管理，以提高目标芯片生产设备的抗电磁干扰效果，且对预警数据进行预警监管性能评估分析，有助于提醒运管人员结合延误情况再

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117491787A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311530433.3

    (22)申请日2023.11.16

    (71)申请人上海创芯致锐互联网络有限公司

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