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一种超声微机电系统传感器、传感器装置及声波成像方法.pdfVIP

一种超声微机电系统传感器、传感器装置及声波成像方法.pdf

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    本发明涉及超声传感器技术领域，具体涉及一种超声微机电系统传感器、传感器装置及声波成像方法。传感器，包括，激光发生器；光纤本体，连接激光发生器，光纤本体的柱状腔体内设有超声传感器，超声传感器包括，下电极，设于柱状腔体的底部；衬底层，设于下电极上；空腔，设于衬底层上，空腔内设有防塌陷层；振动薄膜，设于空腔上；上电极，设于振动薄膜上；柔性贴合层，设于上电极上；透镜层，设于柔性贴合层上；匹配层，设于透镜层上，位于柱状腔体的顶部。本发明提供设备小巧且价格低廉的传感器，通过利用激光产生声波，具备高分辨率和低

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117481598A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311283001.7

    (22)申请日2023.09.28

    (71)申请人上海深至信息科技有限公司

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