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本发明公开了一种大面积可调式低温射流等离子表面处理装置及其方法,属于等离子材料表面改性技术领域。该表面处理装置包括:旋转电气模块,所述旋转电气模块由绝缘外壳和气电一体滑环组成;用于提供高频高压能量的等离子发生器;贯穿所述绝缘外壳且与所述气电一体滑环固定连接并通过其转动的金属轴管;与所述金属轴管底端固连的紧固电连模块;插入于所述金属轴管顶端且与其转动连接的气管。该大面积可调式低温射流等离子表面处理装置及其方法,通过气电一体滑环实现的转动可使通气导电过信号的360度旋转装置,将静止的介质源转换成动态
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117500134A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311571435.7
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人昆山普乐斯电子科技有限公司
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