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本发明公开了一种半导体超纯水中百ppq级超痕量金属钙含量的检测方法，它是采用电感耦合等离子体串联质谱法检测超纯水中钙含量。具体包含以下步骤：（1）PFA瓶等部件的清洗；（2）清洗移液枪头、雾化室和炬管等必备部件；（3）启动设备，同时使用冷焰氨气、温焰氨气、冷焰氢气和温焰氢气等四种工作模式测试超纯水，得到一致而准确的结果。本发明方法解决了传统ICP‑MS质谱干扰消除能力有限，从而不能进行超纯水中1ppt以下杂质Ca含量测试的问题。相对于现有技术，本发明方法更准确、更稳定、检出限低至百ppq以内，可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117491468A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311695488.X
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人苏州赛米肯分析技术有限公司
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