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本发明提供一种晶圆键合结构及方法，包括：提供第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆上形成有第一键合结构，所述第二晶圆上形成有第二键合结构。所述第一键合结构上形成有第一对准图案和第一测量图案，所述第二键合结构上形成有第二对准图案和第二测量图案。对准第一对准图案和第二对准图案，并使得第一测量图案与第二测量图案相对应。键合第一晶圆和第二晶圆后，获取第一测量图案与第二测量图案形成的偏差，以得到所述晶圆键合的偏差值。本发明通过在第一键合结构和第二键合结构上分别加设第一测量图案和第二测量图案，从而使得在晶圆键合后
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111591955A
(43)申请公布日
2020.08.28
(21)申请号20201
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