形成经处理的硅碳材料的方法.pdfVIP

形成经处理的硅碳材料的方法.pdf

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公开了形成经处理的硅碳材料的方法和系统。示例性方法包括将硅碳材料沉积到衬底表面上，并处理硅碳材料。处理步骤可包括第一处理步骤，随后是第二处理步骤，其中第一处理步骤包括提供第一还原剂气体活性物质，第二处理步骤包括提供第一氧化剂气体活性物质和第二还原剂气体活性物质中的一种或多种。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117497402A

(43)申请公布日2024.02.02

(21)申请号202310952553.6C23C16/50(2006.01)

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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