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本发明公开了一种利用料浆法制备的钽基涂层，所述涂层由外层、中间层和内层组成，其中：所述外层材料组分为高熵硅化物MeSi2，中间层材料组分为TaSi2，内层材料组分为Ta的低硅化物；所述Me为合金，由W、Mo、Nb、Ta、Cr中的至少三种金属元素组成。本发明还提供了上述所述涂层的制备方法，包括以下步骤：首先，钽板表面经砂纸打磨光滑后进行弱酸洗、弱碱洗、水洗和烘干。通过球磨制备前驱体粉末后，配置料浆，通过浸渍或刷涂法等将料浆均匀涂覆在钽板表面，试件在真空干燥箱中烘干固化后真空烧结，冷却至室温，完成高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117512586A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311488891.5C04B35/64(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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