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本发明涉及一种钌电镀液制备方法，包括如下步骤：S1：三氯化钌和浓盐酸混合均匀，滴加氧化剂，直至溶液中的ORP电位值达到950MV以上，然后恒温加热20‑30min，得到溶液A；S2：往溶液A中加入氯化铵，结晶，过滤，得到六氯合钌酸铵；S3：将步骤S2中的六氯合钌酸铵和络合剂混合，加入水形成浆化状态，搅拌混合，通入保护气体，直至六氯合钌酸铵溶解完全，得到溶液B；S4：往溶液B中加入硫酸溶液，进行减压蒸馏，最后得到钌电镀液；本发明的制备方法操作简单，成本低时间短，产物以晶体形式析出，制备过程中不添加
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117512717A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311420693.5
(22)申请日2023.10.30
(71)申请人励福（江门）环保科技股份有限公司
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