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本发明涉及碳化硅加工技术领域，具体公开了一种碳化硅打磨用附加物收集设备，包括加工基台，加工基台上端后侧连接有附加物推动模块，加工基台中段部位阵列开设有微粉附加物导出口，通过微粉物承接模块以及颗粒物承接模块，对碳化硅打磨加工时产生的附加物进行收集处理，从而解决附加物无法快速收集而污染加工基台台面，以及微粉状附加物飞散在工作环境中的问题；在使用颗粒物承接模块对大颗粒状的附加物进行收集时，推动板件的左右平移，能够将加工基台上附着的微粉状以及颗粒状附加物推动，并在经过微粉附加物导出口时，使微粉状附加物被
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117506733A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311752785.3
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人南通大学
地址226000
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