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2024-02-07 发布于四川
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一种压力传感器闭环自适应控制方法及系统.pdf

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本发明公开了一种压力传感器闭环自适应控制方法及系统，该系统包括：用于将压力传感器结构振动引起的梳齿间因位移量所形成的电容变化转换为模拟电压信号的C/V电路；用于对所述C/V电路输出信号进行放大的信号放大电路；用于锁定所述信号放大电路输出信号的相位，输出一相位稳定的交流输出信号的PLL电路；用于将所述信号放大电路输出信号转化为直流信号并转化为直流控制电压信号的增益调节电路；基于场效应管并用于对所述直流控制电压信号和所述PLL电路输出信号进行融合并将融合后的信号作为压力传感器结构谐振的驱动信号的AG

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117518805A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311522260.0

(22)申请日2023.11.15

(71)申请人陕西华燕航空仪表有限公司

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