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一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构.pdfVIP

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  • 2024-02-07 发布于四川
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一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构.pdf

    本发明涉及机械技术领域。一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，包括旋转轴以及驱动旋转轴转动的驱动机构，还包括籽晶绳升降组件；籽晶绳升降组件包括防护罩、磁流体旋转密封件、球轴承、T形螺母、滑动螺杆、籽晶绳以及缠绕有籽晶绳的绕线轮，绕线轮上开设有螺旋状设置的绕线槽；旋转轴通过磁流体旋转密封件与防护罩相连围成空腔，空腔内安装有支撑球轴承的轴承座；旋转轴上以轴向为滑动方向滑动连接有位于空腔内的滑动螺杆；磁流体旋转密封件的外圈与T形螺母通过螺钉可拆卸连接，T形螺母位于空腔内；T形螺母与滑动螺杆设有相互匹配的螺

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN114959883A

    (43)申请公布日2022.08.30

    (21)申请号202210595903.3

    (22)申请日2022.05.17

    (71)申请人上海汉虹精密机械有限公司

    地址2

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