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本发明属于气体回收技术领域，具体涉及一种六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置和六氟化硫/氮气混合气体分离回收的方法。利用本发明提供的六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置对六氟化硫/氮气混合气体进行分离回收，先通过吸附的方式对六氟化硫/氮气混合气体进行初步分离后继续进行二级吸附分离进一步除去分离产品中部分氮气，得到高纯度的六氟化硫和高纯度的氮气，实现了六氟化硫回收利用和氮气尾气排放双达标。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117504531A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311548619.1
(22)申请日2023.11.20
(71)申请人浙江大学
地址310058
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