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光学邻近效应的修正方法.pdfVIP

光学邻近效应的修正方法.pdf

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    一种光学邻近效应的修正方法，包括：提供初始光学临近修正模型；提供若干测试图形；对若干所述测试图形进行分组，得到若干测试图形组，各所述测试图形组中包括至少一个测试图形；获取每一组内任意数量的测试图形为最终测试图形；根据所述最终测试图形获取光刻图形，所述光刻图形与所述最终测试图形一一对应；根据所述光刻图形获取拟合参数；根据所述拟合参数对所述初始光学临近修正模型进行拟合，获取光学临近修正模型。所述方法提高了效率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117518726A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202210911091.9

    (22)申请日2022.07.29

    (71)申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限

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