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本发明公开了一种基于法布里‑珀罗腔的谐振型硅电光调制器。调制器包括布拉格光栅及模式复用器，输入波导，输出波导，中间有源区波导与电极。两侧的布拉格光栅采用非对称多模条波导光栅结构并引入渐变光栅结构，通过双层锥形波导实现两侧条波导与中间有源区脊波导的转换，有源区采用耗尽型PN掺杂结构并引入交叉掺杂结构，两侧掺杂区域通过通孔与集总电极相连。本发明通过实现对由两个布拉格光栅构成的法布里‑珀罗腔的谐振波长的调谐，从而完成高速电光的调制，具有低损耗，尺寸紧凑，波长稳定，工艺不敏感的优势，可以应用在高速光通信
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117518675A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311581826.7
(22)申请日2023.11.24
(71)申请人浙江大学
地址310058
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