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本实用新型提供一种用于半导体检测设备的透明卡盘，包括底座、透明载台及背光板；所述透明载台设置于所述底座上，所述透明载台与所述底座之间镂空形成有一插槽；所述背光板插设于所述插槽中，且所述背光板的出光面朝所述透明载台方向设置。通过采用透明载台装载芯片，并将背光板设置在透明载台与底座之间的卡槽中，检测时，背光板射出的光线可透过透明载台照射在芯片的背面，相比传统采用正面打光的方式，背光投影方式的图像边缘对比度更强、精度更高，且不会受基地纹理干扰，解决了现有技术中采用正面打光的方式进行芯片位置度的抓取，导
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220456355U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202322106223.3
(22)申请日2023.08.07
(73)专利权人上海点莘技术有限公司
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