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离子源.pdfVIP

离子源.pdf

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    本发明提供一种离子源，能够容易地进行维护作业。离子源(10)具备从内部引出离子束的容器(11)，容器(11)具备：等离子体生成部(12)，在内部生成等离子体；以及电极收纳部(13)，收纳用于取出离子束的电极。离子源(10)构成为，在电极收纳部(13)固定于装置主体(2)的状态下，等离子体生成部(12)能够以规定的轨道从电极收纳部(13)脱离。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117524819A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202310745763.8

    (22)申请日2023.06.21

    (30)优先权数据

    2022-123928202

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