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本申请公开一种用于沉积设备的调温装置包括：外套壳，包括收容腔和进口，进口设置在外套壳的顶壁上；内套筒，与进口同轴设置在收容腔内，高度小于收容腔的高度，横截面面积大于进口的横截面面积且小于收容腔的横截面面积，内套筒的顶端开口并设置在外套壳的顶壁上，内套筒的底壁上设置有通孔；第一加热单元，覆盖在内套筒的内侧壁上；第二加热单元，设置在外套壳的底壁与内套筒的底壁之间，第二加热单元的横截面面积大于通孔的横截面面积；散热组件，设置在内套筒与外套壳之间；检测件，用于检测内套筒内的环境温度；控制器，根据检测件的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220450294U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202321995755.0
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人芜湖协鑫集成新能源科技有限公
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