一种多层膜反射镜及其制备方法.pdfVIP

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2024-02-07 发布于四川
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一种多层膜反射镜及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种多层膜反射镜，所述反射镜包括基底、设置在所述基底上的打底层和设置在所述打底层上的多周期X/配体/Y层；所述多周期X/配体/Y层包括多个层叠设置的单周期X/配体/Y层；所述单周期X/配体/Y层包括依次层叠设置的X层、配体层和Y层；所述配体层的材质为具有选自醛基、羰基、羧基、氨基、碳碳双键、碳氮双键、氰基、偶氮基和硼酸基中的一种或多种基团的化合物。本发明利用配体抑制多层膜反射镜中的界面混合，减少界面粗糙度，提高反射镜的反射率及长期使用稳定性。本发明工艺简易，且兼容薄膜溅射工艺，适合于

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117518321A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311748343.1

(22)申请日2023.12.18

(71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究

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