原创力文档- 77
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- 2024-02-07 发布于四川
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本发明提供了一种半导体设备用主动减振器及主动减振方法，属于精密驱控的减振领域，主动减振器包括传感器、控制器、驱动器和可调阻尼减振单元；可调阻尼减振单元包括可调板簧组、可调阻尼组、驱动线圈和永磁铁，其中，可调板簧组和可调阻尼组根据目标频率F可更换。本申请利用机械共振原理和振动主动算法，以较小的功率和结构完成最大的隔振需求，便于在半导体精密驱控的减振领域推广应用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117515099A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311756967.8
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人苏州矽行半导体技术有限公司
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