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本发明提出了一种半导体晶圆图档高性能解析方法和装置，该方法包括如下步骤：基于B/S架构部署运行环境；监控晶圆图档文件生成，通过ftp/smb方式下载所述晶圆图档文件到本地；获取所述晶圆图档文件的信息对象，根据所述信息对象匹配解析方式后执行解析算法；读取解析后的文件信息，查询转译配置，对标识码进行转译操作；将转译后的标识码存储至csv文件中，并导入到数据库。本发明使用B/S架构，免客户端安装，无需维护客户端，维护成本低，通过定时检测晶圆图档文件生成，当检测到所述晶圆图档文件时，执行监控逻辑；通过晶
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117521600A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202310233264.0
(22)申请日2023.03.10
(71)申请人江苏道达智能科技有限公司
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