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静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有第1、第2主面；基座板；第1电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与高频电源连接；及第2电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部并与吸附用电源连接，其特征在于，第1电极层在Z轴方向上被设置在第1主面和第2主面之间，第1电极层的Z轴方向上的尺寸比第2电极层的Z轴方向上的尺寸更大，第2电极层在Z轴方向上被设置在第1电极层和第1主面之间，第1电极层具有第1主面侧的第1面和与第1面呈相反侧的第2面，从第2面侧进行供电，第1电极层包含陶瓷成分和金属成分，且具有包含第1面的第1部分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111725121A
(43)申请公布日
2020.09.29
(21)申请号20201
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