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2024-02-07 发布于四川
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一种基于旋转成型平台的成型组件清洁装置.pdf

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本发明公开了一种基于旋转成型平台的成型组件清洁装置，包括旋转基台，旋转基台上固接有喷头清洁组件和掩膜清洁组件，喷头清洁组件和掩膜清洁组件沿旋转基台的旋转方向上依次设置；喷头清洁组件包括喷头清洁罩，喷头清洁罩上设有刮拭轨道，刮拭轨道上滑动连接有刮拭器，刮拭器的一侧连接有用于驱动刮拭器往复运动的驱动元件，刮拭器可探入掩膜内对喷头进行刮拭清洁；掩膜清洁组件包括掩膜清洁罩，掩膜清洁罩上设有清洁条，当旋转基台转过掩膜下方时，清洁条可对掩膜刮抹清洁；通过清洁部件的设置，无需停机，可在机对喷头和掩膜在打印过程

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117507363A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202410008014.1

(22)申请日2024.01.04

(71)申请人杭州云栖交叉技术研究院

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