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本发明公开了一种用于直写光刻的LED光源，属光刻机技术领域，其特征在于：LED光源包括支架和支架上的旋转机构，以及机械手和冷却腔，旋转机构的转盘上安装有至少2组LED灯珠，在LED光源上连接有冷却装置，旋转机构为水平面内或垂直面内的旋转，带动转盘上LED灯珠进行旋转运动，其中一组LED灯珠打开光源后旋转到工作位置进行曝光，另外一组LED灯珠离开工作位置关闭光源，机械手将关闭光源的LED灯珠夹持到冷却腔进行风冷，风冷后，在开始工作前再由机械手放置到转盘上，两组LED灯珠交替工作，减少发热；辅以水冷
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117518741A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311645826.9
(22)申请日2023.12.01
(71)申请人东莞锐视光电科技有限公司
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