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本发明公开了一种硅舟沟棒沟切设备，包括机身，所述机身上设有用于固定硅舟沟棒的若干个夹紧机构，所述机身上滑动连接有沟切机构，所述沟切机构位于若干个夹紧机构的上侧，所述机身上设有用于驱动沟切机构升降的升降驱动件；所述沟切机构包括与机身滑动连接的沟切滑箱、与沟切滑箱转动连接的转轴、以及设置在转轴上的若干个沟切片，每个所述沟切片均设置于两个相邻的夹紧机构之间。夹紧机构抵在沟棒的侧壁上，与刀具对沟棒的压力形成反作用力，有效防止刀具碰损沟棒；一根沟棒上的沟槽一次成型，提高沟棒构槽的加工效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117507160A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311672991.3
(22)申请日2023.12.07
(71)申请人浙江盾源聚芯半导体科技有限公司
地
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