- 1、本文档共6页,其中可免费阅读5页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种监控硅片产生滑移线的方法,对机台腔体做PM;在机台腔体对第一硅片沉积本征膜;提供第二硅片,在机台腔体对第二硅片进行膜沉积,得到第二硅片不同位置的温度变化;根据温度变化得到slip窗口;采用slip窗口进行常规跑货,并实时矫正产品的slip窗口。本发明根据ASM腔体加热灯管特性,总结出掺杂硅片内外差和滑移线窗口的关系,达到实时监控机台产生滑移线的状态。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117524920A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311388003.2
(22)申请日2023.10.25
(71)申请人华虹半导体(无锡)有限公司
地址
您可能关注的文档
- 化合物428在制备预防、控制或治疗特发性肺纤维化的药物或者GPX4稳定剂中的应用.pdf
- 凝汽器冷端设备节能逻辑控制系统.pdf
- 启动马达保护系统、方法及作业机械.pdf
- 一种车辆运载船舶及其车辆装载方法.pdf
- 一种空压机在油船上的布置方法.pdf
- 一种氨醚混合燃料发动机燃料供给系统及高效燃烧方法.pdf
- 自动激光打印方法及激光打标机.pdf
- 风扇及风扇角度位置检测方法.pdf
- 厨房专用新风空调.pdf
- 低温高效的金属氧化物-Cu基小孔分子筛NH3-SCR耦合催化剂及其制备方法.pdf
- 2024至2030年中国人造棉面料行业投资前景及策略咨询报告.docx
- 重庆市渝中区遴选公务员2024年国家公务员考试考试大纲历年真题10340笔试历年典型考题及解题思路附.docx
- 2024至2030年中国甲基苯乙酮行业深度调研及发展预测报告.docx
- 2024至2030年中国羚羊角类饮片行业深度调查与前景预测分析报告.docx
- 重庆市面向中国农业大学定向选调2024届大学毕业生2024年国家公务员考试考试大纲历年真题14笔试历.docx
- 重庆市面向西北工业大学定向选调2024届大学毕业生00笔试历年典型考题及解题思路附答案详解.docx
- 中国不动杆菌感染治疗药行业市场现状分析及竞争格局与投资发展研究报告2024-2029版.docx
- 2024至2030年全球与中国ETL软件市场现状及未来发展趋势.docx
- 初中八年级(初二)生物下册期末考试1含答案解析.docx
- 干簧式继电器项目申请报告.docx
文档评论(0)