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用于减少零件污染的装置.pdfVIP

用于减少零件污染的装置.pdf

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    本实用新型提供一种用于减少零件污染的装置，包括：载置台，零件能够被载置于载置台上；和底部开口的罩，具有顶壁和侧壁；其中，在载置台上形成有在俯视时形状与罩的底部相同的凹槽，使得能够将罩的侧壁的底部放置于凹槽内，其中，在凹槽所包围的载置区域内开设有供气体进入的第一孔，并且其中，在罩开设有供气体排出的第二孔。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220456366U

    (45)授权公告日2024.02.06

    (21)申请号202322085149.1

    (22)申请日2023.08.03

    (73)专利权人英特尔NDTM美国有限公司

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