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本实用新型涉及氮化镓晶体管技术领域,公开了一种氮化镓晶体管,包括衬底和堆叠结构,堆叠结构包括第一区域、第二区域和第三区域;第一区域内设第一绝缘层和第一栅极金属板;第二区域上设有第二绝缘层、源极金属板以及第一漏极金属板;第二绝缘层上设有第二栅极金属板;第二绝缘层至少有部分分别与第一填充区、第二填充区以及第三填充区接触,至少其中之一的填充物为氮化镓。通过在第一区域和第二区域中设置绝缘层和多个电极的金属板,提供了有效的隔离和控制通道电流的能力;上述第一填充区将上述第二填充区和第三填充区之间的隔离,减少
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220456426U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202322122837.0
(22)申请日2023.08.08
(73)专利权人深圳市华朔半导体有限公司
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