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碎屑判定方法.pdfVIP

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  • 2024-02-07 发布于四川
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碎屑判定方法.pdf

    本发明是一种碎屑判定方法，使用通过外观检查装置得到的图像判定在晶圆背面的硬激光标记(HLM)的周边产生的碎屑，该方法包含：根据通过外观检查装置得到的灰阶图像算出基准亮度的工序；从灰阶图像提取包含HLM的印字区域的工序；从印字区域将HLM的点部分排除的工序；以基准亮度为基准，从已经排除HLM的点部分的印字区域提取碎屑区域的工序；以及，基于碎屑区域，判定印字区域中有无碎屑的工序。由此，提供一种碎屑判定方法，其能够可靠地检测出无法通过形状测量机检测出的碎屑，而判定碎屑的有无。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117529653A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202280043984.4(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限

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