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2024-02-07 发布于四川
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一种显示面板的制备方法及显示面板.pdf

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本申请提供一种显示面板的制备方法及显示面板，先形成沟道层，在沟道层上形成初始欧姆接触层，然后形成覆盖初始欧姆接触层的牺牲层，并形成覆盖部分所述牺牲层的光阻，光阻具有对应所述初始欧姆接触层上方的端部。接着对光阻和暴露的部分牺牲层进行等离子工艺，使牺牲层暴露的表面变质成为掩模层，且光阻的表面被灰化形成与掩模层间隔的第一间隙。最后，基于第一间隙对初始欧姆接触进行刻蚀，以形成贯穿初始欧姆接触层的第二间隙，第二间隙暴露出的部分沟道层为沟道层的沟道，之后去除牺牲层和所述光阻。本申请通过等离子体工艺形成特征尺

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117524981A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202310757357.3

(22)申请日2023.06.25

(71)申请人TCL华星光电技术有限公司

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